
主要研究方向如下:
1. 智能結構系統
2. 智能化儀器及機械
3. 電子信息技術及應用
4. 光電技術及應用
5. 檢測與控制技術
6. 計算機輔助設計與測試技術
精密儀器及機械7. 智能微機電系統技術
8. 微傳感器技術及應用
9. 環境工程與地理信息技術
10 .智能文字圖像識別技術及應用
11. 光電檢測技術及智能化儀器
12. 微型機器人技術
13. 電子CAD技術
14. 機器人視覺與觸覺
15. 動態檢測技術及信號處理
16. 智能傳感器技術及應用
17. 精密測量與智能化儀器
18. 虛擬儀器、網絡儀器及軟件無線電技術
19. 智能信息處理技術
20. 虛擬數學化家庭技術
21. 信息管理系統設計與集成技術
22. 企業間電子商務實用技術
23. 人體生物識別技術及系統
24. 通信技術與微系統








日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃,研制兩臺樣機、進入人體進行診斷和微型手術,另一臺用于工業,對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。
歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資,德國自1988年開始微加工十年計劃項目,其科技部于1990~1993年撥款4萬馬克支持'微系統計劃'研究,并把微系統列為本世紀初科技發展的重點,德國首創的LIGA工藝,為MEMS的發展提供了新的技術手段,并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的'微系統與技術'項目。歐共體組成'多功能微系統研究網絡NEXUS',聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作,1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量,一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。


